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Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref 561-07-32

en
sori
maximum distance between the highest point and the lowest point on the front surface of an unclamped wafer from the reference plane, where the least-squares fit reference plane is used

Note 1 to entry: The sori describes the deformation of a wafer that is not clamped, as shown in Figure 1.

Figure 1 – Schematic diagram of a sori

Note 2 to entry: The reference plane is defined by the least-squares fit to the front surface of the wafer as described in IEV 561-07-27, Note 1 to entry, item 3.


fr
sori, m
distance maximale entre le point le plus haut et le point le plus bas sur la surface avant d’une plaquette non serrée par rapport au plan de référence, où le plan de référence défini par ajustement des moindres carrés est utilisé

Note 1 à l’article: Le sori décrit la déformation d’une plaquette non serrée, comme indiqué sur la Figure 1.

Figure 1 – Représentation schématique d'un sori

Note 2 à l’article: Le plan de référence est défini par l’ajustement des moindres carrés de la face avant de la plaquette comme décrit en IEV 561-07-27, Note 1 à l’article, point 3.


ar
أقصى فرق

de
Sori, f

es
soros

it
sori

ko
소리

ja
ソリ

pl
wypukłość, f

pt
sori

zh
峰谷值

Publication date: 2021-08
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