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Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref 561-07-27

en
reference plane, <material for SAW devices>
plane used as a reference for flatness measurements

Note 1 to entry: The reference plane can be one of the following types:

  1. for measurements in which the wafer is clamped, the reference plane is the flat chuck surface that is identical with the back surface of the wafer;
  2. for measurements in which the wafer is not clamped, the reference plane is defined by the surface height at three points on the front surface of the wafer within the FQA;
  3. for measurements in which the wafer is not clamped, the reference plane is defined by the least-squares fit to the front surface of the wafer using the surface height at all measured points within the FQA.

fr
plan de référence, <matériau pour dispositifs OAS> m
plan utilisé comme référence pour les mesures de planéité

Note 1 à l'article: Le plan de référence peut être un des types suivants:

  1. pour les mesures dans lesquelles la plaquette est serrée, le plan de référence est défini par la surface plane du mandrin qui est celle de la face arrière de la plaquette;
  2. pour les mesures dans lesquelles la plaquette n’est pas serrée, le plan de référence est défini par la hauteur de la surface en trois points de face avant de la plaquette à l’intérieur de la FQA;
  3. pour les mesures dans lesquelles la plaquette n’est pas serrée, le plan de référence est défini par l’ajustement des moindres carrés de la face avant de la plaquette à l’aide de tous les points mesurés à l’intérieur de la FQA.

ar
المستوى المرجعى

de
Bezugsebene, f
Referenzebene, f

es
plano de referencia

it
piano di riferimento

ko
기준면

ja
基準面

pl
płaszczyzna odniesienia , f

pt
plano de referência

zh
参考平面

Publication date: 2021-08
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