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Area Piezoelectric, dielectric and electrostatic devices and associated materials for frequency control, selection and detection / Materials for Surface Acoustic Wave (SAW) devices

IEV ref 561-07-21

en
percent local thickness variation
PLTV
percentage of sites whose local thickness variation values fall within the specified value

Note 1 to entry: As with the LTV, measurement is performed on a clamped wafer with the reference plane defined in IEV 561-07-27, Note 1 to entry, item 1.


fr
pourcentage de variation locale d’épaisseur, m
PLTV, m
pourcentage de sites dont les valeurs de la variation locale d’épaisseur sont parmi les valeurs spécifiées

Note 1 à l’article: Comme pour la LTV, la mesure est effectuée sur une plaquette serrée avec le plan de référence défini en IEV 561-07-27, Note 1 à l’article, point 1.


ar
النسبة المئوية لتباين السمك الموضعى

de
prozentuale lokale Dickenschwankung, f
PLTV

es
variación de espesor local porcentual

it
percentuale di variazione locale dello spessore
PLTV

ko
국소 두께 변화 백분율

ja
PLTV

pl
zmiana procentowa grubości miejscowej , f
PLTV

pt
percentagem de variação local de espessura

zh
局部厚度偏差率
PLTV

Publication date: 2021-08
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