Note 1 to entry: An etch stop is sometimes used as the termination layer of the etching process. There are two basic types of etch stop that are used in micromachining: dopant etch stop and electrochemical etch stop.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.25, modified – The definition has been rewritten.]

Note 1 à l’article: L'arrêt de gravure est parfois utilisé comme la couche de fin du procédé de gravure. Il existe deux grands types de méthodes d'arrêt de gravure utilisés en micro-usinage: l'arrêt de gravure au dopant et l'arrêt de gravure électrochimique.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.25, modifié – La définition a été réécrite.]