Note 1 to entry: LIGA is an acronym for Lithographie, Galvanoformung und Abformung, the German for lithography, electroforming, and moulding. Characteristics of the LIGA process include the ability to mass-produce high aspect-ratio microstructures with a line width of 1 µm to 10 µm and a height of several hundreds of micrometres, to allow the use of a wide range of materials including plastics, metals, and ceramics, and to be combined with silicon semiconductor elements, etc.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.13, modified – The definition has been rewritten.]

Note 1 à l’article: Le terme abrégé "LIGA" est dérivé du terme allemand développé correspondant "Lithographie, Galvanoformung und Abformung", signifiant lithographie, électroformage et moulage. Les caractéristiques du procédé LIGA incluent la capacité de produire en masse des microstructures à rapport largeur/longueur élevé, avec une largeur de trait de 1 µm à 10 µm et une hauteur de plusieurs centaines de micromètres, l’utilisation potentielle d’une large gamme de matériaux, y compris le plastique, les métaux et la céramique, et la combinaison possible avec les éléments à semiconducteurs de silicium, etc.

[SOURCE: IEC 62047-1:2016, 2.5.13, modifié – La définition a été réécrite.]