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Superconductivity / Production process |
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IEV ref |
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815-14-12 |
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en |
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chemical vapour deposition process CVD process |
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production process of a film by involving chemical reactions of gases (vapours) which include the desired constituent atoms Note 1 to entry: Organometallic or other compounds are transported at relatively low temperature to the reaction area using a carrier gas where the products of the reaction are deposited on a substrate (e.g. MOCVD, halide CVD, plasma enhanced CVD, laser enhanced CVD). |
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fr |
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dépôt chimique en phase vapeur, m méthode CVD, f |
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méthode de formation d'un film par utilisation des réactions chimiques de gaz (vapeurs) contenant les atomes de base du composé que l’on souhaite constituer Note 1 à l’article: Des composés organométalliques ou autres sont transportés à une température relativement basse, à l’aide d’un gaz porteur jusqu'à la zone de réaction. Après réaction, les produits sont déposés sur un substrat (par exemple: MOCVD, CVD halogène, CVD assisté par plasma, CVD assisté par laser). |
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de |
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CVD-Verfahren, n |
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es |
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proceso de depósito químico en fase de vapor proceso CVD |
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ko |
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화학 증착법 |
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ja |
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化学蒸着法 CVD法 |
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pl |
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proces chemicznego naparowywania, m |
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pt |
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processo de deposição química em fase vapor processo CVD |
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zh |
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化学气相沉积法 CVD法 |